超精密特殊鏡面研磨技術は、従来からある研磨工法の研削・電解・化学・ラップ・ホーニング・バフ・ブラスト・バレル等では「困難だ、不可能だ」と あきらめられていた形状や材質の鏡面研磨に果敢に挑戦し続けて開発した、オリジナルの研磨工法です。
半導体製造装置、医療・分析機器、航空・宇宙関連、原子力・加速器関連、超高圧真空機器、精密電子機器、医薬・食品製造装置などに組み込まれる精密微細加工部品の鏡面研磨に採用されています。
ウルトラクリーンテクノロジーの代表格である半導体製造装置に使用されているフレキシブルチューブ内面の山面、側面、谷面の不連続曲面でも鏡面仕上げを実現させました。
コンタミネーションコントロールのキーポイントの一つに、純水・高純度ガス・薬液等の流体経路パイプ内面の面粗度があります。当社の特殊鏡面研磨は電解研磨や化学研磨と 同等以上の仕上げ面が得られます。
また、セラミック真空チャックピン立て部の凹凸面の全面を均質に磨く事も出来ます。

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